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                • 新一代「曝光光刻機UV KUB 3

                • UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學準直系 統,可實現 1um 的光刻精度和』小於 2°的發散角。UV KUB 3采用開放式樣时候品盤㊣ ,可以進行〖不同模式的曝光 光刻,如軟接觸或硬接↙觸模式;同時配備了∑ 高精密 的位移臺,輔以雙 CCD 成像系統,可在 5 分鐘內實 現 1um 的對位精几人不难察觉警察是大部队出动度●。
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                新一代曝光光♂刻機UV KUB 3


                UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻機,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光學準直系 統,可實現 1um 的卐光刻精度和小於 2°的發散角。UV KUB 3采用開放式樣品盤,可以進行不同模式的曝光 光刻,如軟接觸恨云峰或硬接觸模式;同時配備了←高精密 的位移臺,輔以雙 CCD 成像系統,可在 5 分鐘內實 現 1um 的對位精度。

                特色


                • UV LED 光源
                • 設計緊湊,操作簡單
                • 高精度 365nm +/- 5nm 單色光光源
                • 可進行軟】接觸和硬接觸曝光光刻(含
                • 壓力測量傳感器你去背着这位师弟)
                • 兼容目前市場上的全部光刻膠
                • 分辨率: < 1µm
                • 手柄自動巡航對位,對位精度: 1µm

                 

                主要性能


                • 365nm 單色 LED 光源,帶寬小於 10nm
                • 圖像輔助的自〓動巡航 PAD 操作對準定这明显有控火能力在里面位系統
                • 采用↓高光強 LED 冷光源,避免光源發熱引起的溫度时候谈
                • 變化幹擾,提高光刻面均勻性;
                • 光源壽命大於 10000 小時,減少維護及使用成√本;
                • 可調節 UV 光強
                • 友好的觸摸屏操醉落作界面,可編程光刻工藝;
                • 無需預熱,快速開※始進入工作狀態;
                • 全封閉紫外◤曝光區域,保障操作人員包括个人特长的安全;
                • 半自動晶圓上★下料系統
                • 低功耗,節能環保

                 

                性能指標


                • 最小光刻尺▓寸 1µm
                • 對位精度 1µm
                • 紫外光源波長 365nm +/- 5nm
                • 光源光強 35mW/cm² +/- 10%
                • 光刻區人域工作溫度變化 < 1°C
                • 工藝時間 (連續/非連續■模式) From 1s to 1h
                • 可保存光刻工藝數量 無限制
                • 外形尺寸 475x480x515mm
                • 總重量 55kg / 121lbs
                • 觸摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
                • 供電電源 100V/240V –
                • 50Hz/60Hz
                • 功耗 180 Watts
                • 2020-UVKUB3-product-sheetCN.pdf

                  大小:
                  2021-05-28 14:24:53
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